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    反射膜厚儀

    更新時間:2020-08-12

    產品品牌:Semiconsoft

    產品型號:MProbe UVVisSR

    產品描述:MProbe UVVisSR薄膜測厚儀大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。

    產品概述

    MProbe UVVisSR薄膜測厚儀大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導體(矽,單晶矽,多晶矽),半導體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬塗層(碳化矽,類金剛石炭),聚合物塗層(聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

    該機大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導體(矽,單晶矽,多晶矽),半導體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬塗層(碳化矽,類金剛石炭),聚合物塗層(聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

    測量範圍: 1 nm -50um

    波長範圍: 200 nm -1000 nm

    MProbe UVVisSR薄膜測厚儀適用於實時在線測量,多層測量,非均勻塗層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。

    測量指標:薄膜厚度,光學常數

    界麵友好: 一鍵式測量和分析。

    實用的工具:曲線擬合和靈敏度分析,背景和變形校正,連接層和材料,多樣品測量,動態測量和產線批量處理。

    (MProble NIR薄膜測厚儀係統示 )

    案例1,73nm SiN氮化矽薄膜的測量

    矽晶圓反射率,測量時間10ms

    使用Tauc-Lorentz模型,測量SiN薄膜的n和k值

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